| ชื่อสารเคมี/สิ่งที่สัมผัส: | Silicon tetrahydride | 
| CAS Number: | 7803-62-5 | 
| กลุ่มสารเคมี/สิ่งที่สัมผัส: | โลหะไฮไดรด์ (Metal Hydrides) | 
| แหล่งกำเนิด/การใช้ประโยชน์: | ใช้เป็นแหล่งของซิลิคอนสำหรับสารกึ่งตัวนำในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ [ACGIH] | 
| ปรากฏการณ์ในประเทศไทย: | - | 
