ชื่อสารเคมี/สิ่งที่สัมผัส: | Silicon tetrahydride |
CAS Number: | 7803-62-5 |
กลุ่มสารเคมี/สิ่งที่สัมผัส: | โลหะไฮไดรด์ (Metal Hydrides) |
แหล่งกำเนิด/การใช้ประโยชน์: | ใช้เป็นแหล่งของซิลิคอนสำหรับสารกึ่งตัวนำในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ [ACGIH] |
ปรากฏการณ์ในประเทศไทย: | - |